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北方华创电感耦合等离子体刻蚀机成功获得清华大学采购订单
发布时间:2017-01-20

近日,北京北方华创微电子装备有限公司(简称“北方华创微电子”)受邀参加了国内顶尖学府——清华大学关于电感耦合等离子体刻蚀机的采购招标,经过激烈的角逐,公司凭借丰富的刻蚀产品应用经验、优异的设备工艺性能,完善的客户服务在竞争中脱颖而出,赢得了技术专家的肯定,以总得分第一名的成绩成功中标,顺利签订了清华大学该项目的采购订单。

北方华创微电子自主研发的电感耦合等离子体刻蚀机可以满足硅、氧化硅、金属等多种材料的刻蚀工艺,突破了精密等离子体控制、硅片表面温度精确控制、高气流均匀控制等多项关键技术,以独特的硬件设计达到了高速率、高均匀性、低损伤和低缺陷、精确尺寸和形貌控制、低颗粒污染等要求,多项关键指标达到国际先进水平。目前,该设备已批量销往多家科研机构及生产线,服务于微纳制造、光通信、化合物半导体、功率器件等多个新兴领域,为国内尖端科技贡献力量。

我们将继续秉承以客户为导向的持续创新的理念,为产业提供更专业的高端设备,为使用北方华创微电子产品的用户和合作伙伴创造价值!

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