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ELEDE® 380E PSS刻蚀机 ELEDE® 380E PSS Etcher
  图形化蓝宝石衬底(PSS)是LED制备中的一项关键技术,通过增加LED的内量子效率和提高光提取效率,可以将光效有效提高30~50%,是目前业内公认的提升芯片亮度最有效最直接的方法,也是大功率高亮度LED的最佳选择。随着AlN技术的引入和芯片价格的持续下滑,PSS衬底向更大的尺寸(1.8μm*2.8μm甚至更大)、更好的均匀性(片内<3%,片间<3%,批间<3%)、更高的产能(单台月产能>7000片)、更低的生产成本(耗材成本、黄光成本)等方向发展,传统干法刻蚀设备由于选择比的局限性,已不能满足要求,LED市场亟待新一代的高性能干法刻蚀...


应用领域

  LED领域图形化蓝宝石衬底刻蚀、纳米级图形化蓝宝石衬底刻蚀


产品优势

  • 强大的工艺兼容性,设备可兼容2寸、4寸、6寸晶片刻蚀。
  • 超高的刻蚀选择比,单一BCL3气体下选择比>0.9,刻蚀高度高,图形侧壁形貌直。
  • 光胶适应窗口宽,2.3um光胶可实现1.8*2.8规格,有利于提升黄光产能和良率。
  • 产能优势明显,4寸8片托盘设计,单盘工艺时间小于40分钟,月产能>7000片。
  • 优异的均匀性控制,整盘尺寸、形貌一致均匀,WIW%<3%,WTW%<3%,RTR<3%。
  • 有效的颗粒控制,PM周期长,PM部件快速拆卸,维护更加便捷。
  • 双盘自动传输模式,设备利用率高,使用灵活。
  • 优化的工艺套件设计,更长的耗材寿命,合理的耗材价格,COO行业最低。
  • 累计销售超过100台,量产经验丰富,可靠性高。



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