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ELEDE® 380G+/G380C刻蚀机 ELEDE® 380G+/G380C Etcher
  ELEDE 380系列刻蚀机是LED芯片制作的关键设备, 可以用于正装芯片,倒装芯片,垂直芯片这三种芯片中的电极刻蚀(刻蚀材料GaN, AlGaInP/GaP),隔离刻蚀(刻蚀材料GaN, GaAs),钝化层刻蚀(刻蚀材料SiO2, SiNX),介质反射层刻蚀(刻蚀材料SiO2 和TiO2),金属阻挡层刻蚀(刻蚀材料TiW)。良好的刻蚀均匀性对最终芯片的亮度和良率至关重要,ELEDE 380系列产品结合独特的线圈设计、下电极设计和托盘设计,实现良好的工艺均匀性控制,满足不同产品制程中的多种刻蚀材料工艺应用。ELEDE 380系列刻蚀机是LED领域标杆产品,市场占有...

应用领域

  半导体照明


产品优势

  • 良好的的均匀性控制,片内,片间,盘间均匀性<5%。
  • 刻蚀速率快,每盘可装载9片晶片(4inch), 月产能高,有效降低LED客户单片运行成本。
  • 可兼容2~6英寸不同规格的晶片。
  • 可以满足多种刻蚀材料工艺应用。
  • 搭配独特的托盘设计, 确保极边缘位置(ee1mm)刻蚀干净,芯片良率高。
  • 可以搭配OESOptical Emission Spectroscopy)进行终点控制,实现工艺的精确控制。
  • 软件具有安全方便的权限管理,人性化的操作界面,完善的日志记录功能。
  • 精确的刻蚀控制能力,确保对LED电极无损伤。
  • 更精确射频控制系统,充分保证量产重复性、稳定性和安全性。
  • 更高效的干法清洗,延长PM周期。
  • 全自动化控制,降低人员操作难度。


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