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NMC612G 12英寸刻蚀机 NMC612G 12 Inch Etcher

应用领域:

Micro OLED微显示领域


产品优势:

  • 采用12英寸IC刻蚀设备的先进设计理念,能够满足Micro OLED微显示行业要求
  • 可用于Ti、Al、Mo、ITO等金属及Oxide、Poly刻蚀
  • 高性能静电卡盘,可用于Si wafer及玻璃片稳定吸附
  • 独特的传输系统设计保证Si Wafer及玻璃片的稳定传输
  • 腔室结构对称性设计,具备良好的工艺均匀性和重复性
  • 陶瓷镀层的工艺部件以减少缺陷和颗粒的产生
  • 软件量身定制,快速更新能力
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