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高温退火炉 / 高温氧化炉 ActivSiC-650 / OxidSiC-650
   SiC-650系列高温炉,适用于SiC基功率器件制造中的高温工艺环节。为实现SiC片在高温真空环境下完成离子激活和退火工艺,SiC-650系列 高温退火炉和氧化炉,均采用立式结构设计,工艺控制好,片间温度分布均匀,工艺气流均匀稳定。本系列高温炉,采用加热腔与工艺腔独立的真空密闭设计,提高 工艺腔的气密性和洁净度。

应用领域

SiC基功率器件 、石墨烯生长


适用工艺

高温退火、高温氧化


产品优势

  • 多区加热,红外测温+热偶监控
  • 水冷电极引入,热区结构合理,易维护。
  • 水冷炉壁,环境温度低,温升小
  • 带洁净气体循环的装料腔室,降低颗粒污染,确保微环境清洁。
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