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HORIS D8573AL 卧式低压扩散炉 HORIS D8573AL Low Pressure Diffusion
  在晶体硅光伏电池行业,随着电池片向大尺寸、超薄化、更高产能、更低的表面杂质浓度、更好方阻均匀性和更高能效比方向的发展,传统闭管常压扩散炉已不能满足要求。HORIS D8573AL系列低压扩散炉,它对156~162mm尺寸的电池片在每批次产能高达1200/管甚至更高的情况下,其扩散方块电阻均匀性仍优于4%,与常压扩散炉相比片均能耗降低50%以上,化学品消耗降低更是超过50%,也不用额外增加工艺时间,是高品质扩散的优选与环境友好型的生产方式。未来晶体硅光伏电池技术的发展,将对新型扩散技术和设备制造水平提出的进一步挑战,光伏行业市场亟待新一代的高性能扩散技术。

应用领域:

  光伏PV


适用工艺:

  磷硼等掺杂扩散、氧化、退火及掺杂-退火等一体新型工艺


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