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一键搞定硅外延装备控制软件升级
发布时间:2017-03-04

1. 硅外延装备控制软件

硅外延装备用于硅片的外延工艺处理,在给定的外延衬底上生成一层导电型、电阻率、厚度与晶格结构等都满足严格要求的新单晶层,对后续工艺的顺利进行和最终产品的质量有着至关重要的影响。硅外延装备控制软件是硅外延片生产制造的依托,软件的不断迭代更新,是提升软件质量、提高设备稳定性和产能的重要途径。


2. 硅外延装备软件升级特点

迭代更新后的软件部署到设备上,即为软件升级的过程。软件升级需依次对软件系统的各个组成元素进行更新,具体的更新项与软件内部结构紧密相关。硅外延装备的软件由上位机控制软件和下位机控制软件共同组成,上/下位机软件的组成元素包括可执行程序、配置文件和依赖环境这3部分,通过分别完成这3个部分的更新,即可完成软件升级工作。


3. 硅外延软件现状

作为硅外延设备控制软件,当前软件升级的方式依旧采用“手动方式”,然而软件中有大量的配置文件,这些配置文件为了保存设备关键参数,满足设备控制的灵活性,以及实现软件的可扩展性等多种目的而存在。这些配置文件通过人工校对和确认的方式完成升级。除去配置文件的升级,可执行程序和依赖环境也是通过人工拷贝、修改属性的方式完成。一次软件升级常需要2人协同,花费2小时以上的时间方能完成。这种“手工”方式导致软件升级通常会出现升级耗时过长、升级后因配置文件导致软件运行不稳定等问题,影响厂商的生产效率。


4. 软件升级自动化技术及优点

  经过对行业内软件升级方式的持续调研,通过技术研发人员的不懈努力,软件升级自动化技术得到了更多的推广、应用。

  自动化的方法,简单而言即是实现上/下位机软件的3个组成元素的自动化升级。其中可执行程序的自动化升级较简单,主要处理为备份原始文件和拷贝新程序。依赖环境的更新包括依赖库和这些库的配置属性的更新,由于各次升级可能涉及不同的更新,因此可采用脚本的方式,满足不同更新的自动化。

  首先使用XML统一各种格式的配置文件,XML格式的优势在于计算机可以理解其文档结构和各个元素(Item)。其次,为每个元素增加唯一标记,使各个配置项彼此区分,可查找。最后,根据器件功能和设备状态两种类型分布实现不同的更新规则,从而实现配置文件的自动化更新。

让软件升级实现自动化,可避免人为操作引入的错误,缩短升级耗时,为厂商提供更高效稳定的升级体验。

北方华创微电子   CVD BU

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