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三分钟读懂干法刻蚀设备
发布时间:2017-05-19

本文要向大家讲的硅刻蚀设备是北方华创公司研发的干法刻蚀设备,具有硅片传输自动化程度高、工艺调节手段多样、设备可靠性高、机台占地面积小、设备产能大、维护简单、机台成本低等特点,简直就是您“居家旅行、出门必备”、超高性价比的首选设备。


这款干法刻蚀设备包括两个模块,传输系统模块和工艺系统模块。

传输系统的主要作用就是通过机械手自动将晶圆从大气腔传输到真空腔,这个过程就好比人的手臂将盘子从桌子上拿到微波炉一样。

工艺系统模块就是对晶圆进行工艺处理的腔室,这个腔室要求非常严苛。首先要达到非常高的真空度并且对压力进行控制,其次要达到一定的环境温度并保持稳定,再次腔室内可以通入多种特殊气体,另外还得有电极能够电离特殊气体的原子或分子形成等离子体,从而使得晶圆上的图形在等离子体的作用下通过一系列的物理和化学作用实现刻蚀工艺要求的图形。

压力场、气流场、温度场、电磁场等综合作用在腔室内部形成复杂的工艺环境,通过对各种参数的精确控制,就实现了晶圆表面的各种神奇的图形,可以是刻蚀面、刻蚀槽、刻蚀孔或者组合而成的各种复杂图形的刻蚀都可以通过干法刻蚀机来实现。这个过程就好比微波炉里的食物通过放置不同的食材、添加不同的作料、设置不同的温度、放不同的时间,最终出来各种各样不同美味、不同风格的菜品一样。


北方华创微电子 第二刻蚀BU


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