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NAURA创新
  NAUAR 低压扩散炉制造技术不断进步和完善,自2016年来,晶体硅太阳能电池行业扩产和技术升级的太阳能电池制造商几乎都选择产能密度更高的低压扩散炉作为首选的掺杂设备。   NAURA 低压扩散炉已经遍布在中国的江苏、浙江、四川、安徽、山东、陕西、台湾,以及东南亚的马来西亚、泰国、越南甚至埃及的光伏电池制造工厂内高效生产。
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  • 03.04 2017
      本文介绍了脉冲等离子体技术在干法刻蚀领域的应用背景,从半导体制程工艺需求层面讲述了纳米量级的刻蚀制程对等离子体参数的需求。
  • 03.04 2017
      等离子体刻蚀在集成电路制造中已有40余年的发展历程。刻蚀采用的等离子体源常见的有容性耦合等离子体、感应耦合等离子体和微波ECR 等离子体等。
  • 03.04 2017
      等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。
  • 03.04 2017
      硅外延装备控制软件是硅外延片生产制造的依托,软件的不断迭代更新,是提升软件质量、提高设备稳定性和产能的重要途径。
  • 03.04 2017
      硅外延是一种单晶薄膜生长技术,在硅衬底片上,沿衬底晶向生长一层具有与体单晶一致的外延层,通过掺杂可获得所设定的导电类型,电阻率和厚度。
  • 03.04 2017
      物理气相传输法(Physical Vapor Transport,PVT),即在高温区将材料升华,然后输送到冷凝区使其成为饱和蒸气,经过冷凝成核而长成晶体。
  • 03.04 2017
      技术成熟可靠的NAURA卧式扩散炉还可以用于干氧氧化、湿氧氧化、氢氧合成氧化、扩散、退火/推进和合金等多种工艺,真可谓一机在手,功能全有
  • 03.04 2017
      随着装备的技术水平的不断提高,NAURA高产能管式PECVD必将成为晶硅电池生产线的绝对主流产品。 为解决世界能源和环境问题发挥重要作用。