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【砥砺奋进的五年】一步一个脚印,半导体高端装备烙上中国印
发布时间:2017-08-28

  摘自:亦庄时讯 北方华创


  “当前,中国集成电路产业迎来了千载难逢的发展机遇,但是对于国内集成电路产业而言,要实现从跟随者走向引领者的跨越,装备产业是最重要的一个环节。”


北方华创科技集团股份有限公司总裁 赵晋荣

北方华创引领半导体高端装备烙上中国印
时间是个伟大的作者
她能写出未来的结局

  在北方华创总裁赵晋荣的心里,有无数个值得铭记的日子,在他看来,那不单单是个时间日历,而是中国IC装备前进的刻度。

  这个刻度上,有四个节点,就像烫印在赵晋荣的心上,每每说起,就心潮起伏,激动难耐。

  十一年前,登上极大规模集成电路制造装备与成套工艺重大专项(简称02专项)的中国科技破冰巨轮,他带领北方微电子突破国外技术垄断与封锁,成功开发了刻蚀机、PVD和CVD三大类半导体装备。

  五年前,进入北京亦庄,北方微完成了从研发机构到产业化、市场化的转变,实现了“高端装备,中国制造”的开创性突破。

  去年九月,北方微成功与七星电子重组,强强联手以北方华创品牌华丽亮相,下设微电子装备、真空装备、新能源锂电装备、精密电子元器件四家全资子公司。其中,重组后的北方华创微电子装备公司成为国内唯一以高端集成电路工艺装备为主营业务的上市平台。

  几天前,也就是2017年8月7日,他与美国Akrion公司总裁正式签署并购协议,带领品牌出海,吹响了向全球先进半导体运营商发起冲刺的号角。

  “国产半导体装备一定要挤进全球前十!”这是赵晋荣和所有北方华创人的梦想,他们正用行动一步一步缩小梦想与现实的距离,每一步都走得铿锵有力。




起跑!
从亦庄踏上产业化腾飞征程

  

  “幸亏我们五年前选择了北京亦庄,你看,现在左邻右舍都是我们的客户。”刚刚感冒好转的赵晋荣带着一丝丝鼻音感慨万千,作为见证北方微电子从一个科研机构成为集成电路高端装备旗舰平台的亲历者,他说:恰逢其时!是集成电路产业发展的大势为企业发展提供了千载难逢的机遇。


  在业界,IC(集成电路)芯片被称作是电子信息产业的“心脏”。而生产“心脏”部件的设备——IC装备业,因占据了科技的制高点,被称为制造业的“珠穆朗玛峰”。

  在国家“十五”计划之前,从来没有一家中国企业登上过这个高峰。而成立于2001年的北方微电子就是为了承担这个使命而生,重点攻关IC产业中的刻蚀设备(ETCH)、物理气相沉积设备(PVD)和化学气相沉积设备(CVD)。

  就如大家看到的所有设备都需要先验证,验证就要有产品、有客户,验证完产品销售出去占有市场那才意味着成功,而不仅仅是研发出来的。

  于是,6年前,在开发区的全力帮助下,2011年7月,北方微从酒仙桥迁入亦庄开始了产业化的历程。

  “那时候,我们在IC市场上只有一台刻蚀设备!”赵晋荣回忆说。来亦庄,就是看到这里有浓厚的产业氛围,更重要的是可以和近邻中芯国际、京东方形成产业上下游的关系。尽管如此,看到4万多平方米的新基地,还是觉得这得啥时候才能物尽其用。

  “没想到,2012年,规模产业化第一年,我们就实现了破亿的收入。除了刻蚀机以外,PVD、CVD等产品逐渐问世。”

  也就在北方微产业化工作取得突破进展的时候,国家又启动了极大规模集成电路制造装备与成套工艺重大专项。在这个专项中,北方微电子是绝对的主力,相继完成了刻蚀机、PVD等工艺的验证和产业化工作,借助政策的东风,深入的修炼内功。

  赵晋荣说,如今5年过去,这种变化可以称得上是天翻地覆。从空间应用上,4万多方米的空间从2015年底就开始满负荷运行,不得已,启动了二期14万平方米的增容;5年间,公司的产品出货量翻了10倍,销售收入翻了11倍;在芯片企业实现了刻蚀机、PVD、CVD、立式炉和清洗机五大类产品的国产化,也开始向国际化市场进军;市场领域更是从单纯的一个集成电路扩展到了包含微机电系统、功率半导体、先进封装、半导体照明、平板显示、光伏、化合物半导体在内的八大领域。

  他还坦言,五年前,我们完全谈不上市场占有率,五年后的现在,八大领域,我们都逐步站稳了脚跟。“以开发区为例,当时我们只有中芯国际一个目标客户,现在京东方也成为我们的大客户,年合同额过亿。”赵晋荣笑着说。可以说是左右逢源,因为他们一个是他的左邻,一个是他的右舍。

  在集成电路芯片制造领域,北方华创微电子拥有刻蚀机、PVD、单片退火设备、氧化炉、退火(合金)炉、LPCVD以及清洗机七类产品已经全面在中国最主流的几家集成电路代工厂量产。

  在先进封装领域,北方华创刻蚀机和PVD设备在主要的先进封装厂已得到全面应用,在全球排名前三的WLCSP封装企业中,北方华创刻蚀机和PVD均是主力机台。

  在LED领域,北方华创刻蚀机、PVD和PECVD三类设备的市场占有率均为全球第一,面对日本、韩国、欧美等众多竞争对手,我们的国产装备表现出碾压性优势!

  面向目前高速增长的MEMS及新兴市场,北方华创用于MEMS芯片制造的深硅刻蚀设备以及通用硅刻蚀设备,已批量销往多家科研机构及生产线,服务于微纳制造、光通信、化合物半导体、功率器件等多个新兴领域,客户安装量超过50台,为国内尖端科技贡献力量。

  而在新能源光伏领域,北方华创研发的国内首台应用于高效光伏电池生产的负压扩散炉获得了市场认可,稳居国内市场首席;其光伏交钥匙工程,顺利获得海外客户订单。

  在平板显示领域,北方华创作为国内首家进入TFT-LCD生产线的设备提供商,自主研发的Grind Cleaner、Indexer等设备均在主流客户端占据重要份额,所提供的设备在客户端的5代线、6代线、8.5代、10.5代线均批量稳定生产。

  值得一提的是,由北方华创微电子自主研发的应用于14nm先进制程的等离子硅刻蚀机、单片退火系统已正式进入集成电路主流代工厂,LPCVD(低压气相沉积)和Hardmask PVD(硬掩膜沉积)设备也已获得集成电路主流代工厂订单。可以说,北方华创微电子已全面进入14nm时代!



加速!

整合资源打造高端装备“巨无霸”


  虽然,北方微的发展可以用“一日千里”的速度形容,但是北方微却并不感到满足,因为国际上IC装备的竞争对手个个都是巨无霸,用北方微这样的体量去参与国际竞争,不容易,且成功的可能性太低。

  怎么办?果敢的北方微人开启了重组的尝试,国有资产、证监会、评估、审计和法律等一系列的关键词都告诉他们这不是一条容易走的路,可是惟有做大才能做强,才能实现中国创造的扬眉吐气。

  功夫不负有心人,从2015年10月8日七星电子宣布停牌到2016年8月22日新增股份在深交所上市,两家公司经过了审计、评估、财务顾问、法律顾问、证券交易所、北京市国资委和中国证监会的层层审核,最终历时11个月的时间完成了重组工作。2017年2月,“北方华创科技集团股份有限公司”正式完成工商变更手续。

  新生的北方华创形成了以北方华创科技集团股份有限公司为总部,下属北京北方华创微电子装备有限公司、北京北方华创真空技术有限公司、北京北方华创新能源锂电装备技术有限公司和北京七星华创精密电子科技有限责任公司四家全资子公司。至此,这家以高端电子工艺装备和精密电子元器件为主营业务的中国旗舰平台完成了新世纪后的华丽嬗变!

  “创造精良,打造民族自尊,完成高端装备中国制造逆袭的共同的理想让我们的融合非常迅速,而且各项飞升的数据告诉我们重组非常成功!”

  

  “今年以亦庄基地为中心的北方华创微电子预计年收入将完成13个亿,集团全年总营收预计可以突破20亿元。”赵晋荣说,我们的融合没有流失客户,反而让客户增加了对我们的信任,这就是融合的力量。


冲刺!

期待质变 跻身全球前十大


  在给未来的北方华创绘制蓝图时,赵晋荣坚定的说:百亿规模,跻身全球前十大。

  “5年可以达到吗?”面对提问,科研出身的赵晋荣非常谨慎,他坦言,国产高端装备要实现“量变”较为容易,

  短期3年内在集成电路行业的份额就会提升到30%,但是要真正的取代国外厂家,实现跻身全球前十大的“质变”却并不容易,但五年实现“质变”是我们的目标。


鸟欲高飞先振翅,业求上进先练功。


  作为企业发展的核心竞争力,技术领先是北方华创的利刃。为此,北方华创不惜代价吸引人才。短短五年,千人计划的人数已经达到十人,科研经费除了获得国家扶持的过亿费用,企业的投入同样巨大。以知识产权为例,仅仅在半导体事业群的专利,五年就扩了3倍多,从792项跃升到了2704项。

落日无边江不尽,此身次日更须忙


  就在接受采访的两日后,北方华创宣布收购美国集成电路清洗设备厂商Akrion公司。


  一个个傲人的指标,一件件填补国内空白的产品,一桩桩改写中国创造的壮举,汇聚成一束束前行的光,打开北方华创大发展的华彩高潮,中国IC高端装备的“北方华创号”动力喷薄升腾!
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