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赵晋荣:砥砺奋进中的国产集成电路装备产业
发布时间:2017-09-30
  摘要:赵元闯 芯思想
  2017926日,北方华创科技集团股份有限公司总裁赵晋荣在南京制造年会上做了题为《砥砺奋进中的国产集成电路装备产业》的演讲。赵晋荣从装备重要性和国产装备发展机遇两个方面阐述了对中国国产装备的思考。

半导体装备的重要性

  赵晋荣在报告中首先提到,装备是集成电路产业的基石,是推动集成电路技术创新的引擎。一方面是随着摩尔定律的继续前行,芯片特征尺寸不断缩小,从微米级到纳米级,现在已经开始向7/5纳米进军,新结构(2D-3D)、新材料(High-KSOI)不断被应用,新技术层出不穷,从而对对设备提出了更多的需求和更高的挑战


  赵晋荣强调说,装备成为推动集成电路产业甚至整个工业技术创新进步的引擎。集成电路产业的特点是一代产品依赖于一代工艺,一代工艺依赖于一代设备”。终端产品对芯片需求不断挑战着工艺技术的极限,大生产工艺技术不断挑战着集成电路装备能力的极限,集成电路产业的发展依赖于装备的不断更新换代。

国产装备新机遇

  由于全球晶圆制造和封装产业的大力投资扩产,全球半导体设备产业市场规模也在爆增。近几年,全球半导体设备投资规模保持在300-400亿美元,预计2017年达到460亿美元,而2018年更是激增到500亿美元规模。

  由于2014年《推进纲要》的发布,中国集成电路产业迎来了爆发。国家大基金的金融杠杆作用逐步显现,适应产业发展的各级地方政策环境和投融资环境基本形成。2016年中国集成电路产业规模首次超过4000亿元大关,达到4335.5亿元,而晶圆制造业也首次突破1000亿元大关,来到1126.9亿元。

  中国市场已经成为全球集成电路市场增长的主要推动力之一,全球集成电路制造业向中国大陆转移趋势不可逆转,国内Fab厂投资如火如荼,推动中国半导体设备投资占比逐年加大,从2010年的9%2017年的15%,预计2017年中国设备投资金额将达70亿美元,全球占比第三位。

  同时,我们要看到,国内装备产业整体还很弱小,集成电路制造装备全球排名前10大公司尚未看到中国企业的身影。2016年我国集成电路设备投资占全球的16%,而国产设备销售额仅占全球的0.54%,国内装备产业的发展水平与需求失配。

  根据Gartner发布的全球规模以上晶圆制造备商的报告显示,其统计范围共58装备公司,中国仅占4席,分别是北方华创、中微半导体、盛美半导体和Mattson2016年被亦庄国投收购),其他分别位于日本21家,欧盟13家,美国10家,韩国7家,以色列3

  集成电路装备业具有技术更新周期短带来的极强技术壁垒,市场垄断程度高带来的极大市场壁垒,以及客户间竞争合作带来的极高认可壁垒等特征,因此集成电路装备市场高度垄断,细分市场一家独大甚至在多项核心设备市场,全球前三大占有率超过90%,例如光刻机市场ASML全球占比75.3%,加上日本的NikonCanon,前三大全球占比93.8%PVD市场,应用材料(AMAT)全球占比84.9%,算上EvatecUlvac,前三大全球占比96.2%;刻蚀设备市场,泛林(LAM)全球占比52.7%,连同TELAMAT,前三大全球占比90.5%;氧化/扩散设备市场,HitachiTELASM合计全球占比94.8%


  中国半导体装备企业大多是在夹缝中求生存,机遇和挑战并存。赵晋荣认为,随着“中国制造2025”重大战略实施,中国半导体产业将会出现新一轮快速增长,未来510年是产业实现快速增长的黄金期。

北方华创:砥砺前行为产业带来无限可能

  赵晋荣就北方华创的集成电路备技术水平、应用领域及成果和业界同仁进行了分享。

  北方华创8-12英寸设备实现了在集成电路、先进封装、微机电系统、化合物半导体领域的应用,其中,12英寸刻蚀机、PVDCVD、单片退火炉、清洗机和ALD12种设备实现了28nm/65nm产线应用并有6种设备进入14nm工艺验证阶段,

  赵晋荣最后以毛泽东的《忆秦娥·娄山关》中的诗句“雄关漫道真如铁,而今迈步从头越做为结束语,中国集成电路装备产业的发展之路虽然艰辛,但包括北方华创的中国半导体装备企业将不断为我国集成电路产业的健康发展提供优质的产品和服务,提高其在市场中的竞争力。

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