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北方华创亮相第十四届中国国际半导体照明论坛
发布时间:2017-11-15
  北方华创微电子于11月1日至3日参加了在北京首都机场举办的第十四届中国国际半导体照明论坛暨 2017 国际第三代半导体论坛,并作为该论坛的合作伙伴重点展示了北方华创在半导体照明和第三代半导体领域的高端装备及工艺解决方案。

  本届SSL大会紧扣时代发展脉搏与产业发展趋势,以“协同创新 融通发展”为主题,来自海内外半导体照明,第三代半导体及相关领域的专家学者、企业领袖、行业机构领导以及相关政府官员等千余人的积极参与,共同论道产业发展。

  会议期间,北方华创微电子公司第一刻蚀事业部副总经理刘利坚博士在“材料与装备”技术分论坛上进行了题为《Dry Etch Process and Key Equipments in LED》的演讲,重点分享了北方华创在LED前道干法刻蚀工艺和关键设备解决方案,内容涵盖图形化蓝宝石衬底、蓝绿光正装芯片、蓝绿光倒装芯片、蓝绿光垂直芯片、红黄光芯片、激光器芯片生产制造中涉及的干法刻蚀工艺及这些干法刻蚀工艺中的关键技术难点和解决方案。



  目前,北方华创应用于半导体照明和第三代半导体领域的ICP刻蚀机客户销售量已突破300台,其中GaN刻蚀机新增市占率超过90%,成为行业标杆机型。北方华创在LED领域提供PSS刻蚀机、GaN刻蚀机、PECVD、AlN Sputter、Metal Sputter、清洗机等多款设备及工艺解决方案,是LED制程装备种类最全、与世界先进水平差距最小、市场拓展速度最快的国产装备制造商。

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