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全面布局,北方华创带您领略民族半导体装备的科技之美
发布时间:2018-03-14

北方华创在SEMICON 2018 N3 3339期盼与您相遇


备受瞩目的SEMICON China 2018展览于2018年3月14日在上海新国际博览中心如期盛大开幕,北京华创再次重磅亮相,全面展示为集成电路、先进封装、半导体照明、功率半导体、微机电系统、化合物半导体、平板显示及新能源光伏等领域量身定做的Etch、PVD、CVD、Furnace、Wet Clean、MFC等高端半导体工艺装备及核心零部件的解决方案。



其中,在集成电路芯片制造领域,北方华创微电子拥有刻蚀机、PVD、单片退火设备、氧化炉、退火(合金)炉、LPCVD以及清洗机七类产品。经过十七年的不懈努力,这些产品已经全面在中国主流的几家集成电路芯片厂稳定量产。其中,由北方华创自主研发的应用于14nm先进制程的等离子硅刻蚀机、Hardmask PVD、Al-Pad PVD、ALD、单片退火系统、LPCVD已正式进入集成电路主流代工厂;Hardmask PVD、Al Pad PVD设备成功进入国际供应链体系;12寸65/55nm清洗机单机累计流片量已突破120万片大关;深硅刻蚀设备也已成功进入东南亚市场。此外,应用于28nm的Hardmask PVD系统工艺设备、应用于28/40nm的单片退火设备、应用于55nm的硅刻蚀机均被国内领先集成电路芯片制造企业指定为Baseline机台。应用于薄膜/厚膜硅外延的APCVD系统能满足外延厂和芯片厂的差异化需求,连续两年斩获客户大批量订单,获得客户和市场一致认可,实现了中国半导体装备制造技术一个又一个里程碑式的跨越。




在先进封装领域,北方华创微电子的等离子刻蚀机,PVD和Descum等设备已得到全面应用,如WLCSP, TSV, Copper pillarbump, Gold bump等。在CIS WLCSP应用中,北方华创微电子的PVD成为12寸生产线baseline机台,凭借稳定优越的表现,持续获得重复订单,并助力客户不断取得高端客户订单。在近几年的新增市场中,北方华创TSV刻蚀机在大陆地区保持着较大的市场占有率。Copper PillarBump方面,PVD设备已进入大陆前两大封测厂生产线,Descum设备也已获得前两大封测厂的重复订单;Gold Bump方面,北方华创的PVD设备在大陆主要金凸块封测厂均实现销售。随着先进封装技术向高密度和高集成度发展,将更多的使用到通孔技术和重布线技术,意味着有更多的等离子刻蚀和PVD设备需求,这一趋势与北方华创微电子的核心优势产品高度吻合,北方华创微电子将持续在该领域提供更新的技术,以及更加优质的产品和服务。




在LED领域,ELEDE系列刻蚀机自2010年面市以来安装量已经突破三百台,其中380G系列刻蚀机在2014~2017年的新增市占率较高,切实成为了行业标杆机型,是国内各大芯片企业扩产的主要产品。北方华创自主研发的AlN溅射设备自开发以来,引领LED新技术发展趋势,帮助客户节省外延产能且有效提升芯片发光亮度和良率等各项指标,已成为LED不可或缺的制程设备,更是大量获得了美国和台湾地区的重复订单,截止2017年底销量已突破百台。而同样面向LED芯片制造的EPEE550系列PECVD,受到全行业高度认可。北方华创微电子在LED领域产品性能优越,不断提升服务、完善技术解决方案,坚持以客户为中心,持续不断的创新发展,力争为行业发展做出更大的贡献!




面向目前高速增长的MEMS及新兴市场,北方华创微电子用于MEMS芯片制造的深硅刻蚀设备以及通用硅刻蚀设备,已批量销往多家科研机构及生产线,服务于MEMS及微纳制造、光通信等多个新兴领域,客户安装量超过50台。


在第三代半导体领域,北方华创打破传统设备设计思路,将SiC刻蚀、GaN刻蚀、介质刻蚀、高温炉、LPCVD、PECVD以及PVD等关键制程设备发展成为行业标杆企业主流机台,可提供第三代半导体功率器件和射频微波器件整体解决方案。此外,公司自主开发的卧式LPCVD设备也实现了新的应用——半导体级碳纳米管的生长,该应用已成功在客户端上线。


在新能源光伏领域,北方华创微电子研制的应用于高效光伏电池生产的新型负压扩散炉销量稳居国内前列,畅销海内外;其大产能PECVD,顺利获得海外客户订单;应用于新能源光伏领域的全自动多晶黑硅制绒机、在线湿法刻蚀清洗机、在线湿法制绒机、卧式氧化扩散炉、PECVD等设备均已实现进口替代。


在平板显示领域,作为TFT-LCD生产线的设备提供商,公司自主研发的Grind Cleaner、Indexer等设备均在国内市场占据重要份额,所提供的各类设备在客户端的5代线、6代线、8.5代、10.5代线以及OLED生产线批量稳定生产,此外公司新增的环保类设备也已成功进入京东方各世代生产线,为客户创造经济效益。


此外,北方华创微电子在气体流量测量和控制方面拥有多项关键技术优势,MFC产品行销欧美,在国内市场中长期占据重要的行业地位从2010年至今已累计销售突破20万台。


值得一提的是,北方华创于2018年1月顺利完成对美国Akrion System LLC公司的收购,该公司作为清洗机的设备商,拥有兆声波异性换能器制造、实验及标定平台实验室。整合后的清洗业务包括单片清洗和批式清洗两大产品线,覆盖工艺种类进一步增多,包括Pre Film Deposition Clean, PR Strip, Backside Clean, Wafer Reclaim,Post Etch Clean, SiN/Oxide Etch, Post Metal Deposition Clean 和 Al Pad Clean等关键清洗工艺,有力提升了北方华创微电子清洗设备业务的整体市场竞争力。


产业风口,政策支持,资金充足,市场活跃。在2016年,北方微电子和七星华创把握时代机遇,不负振兴重任,顺利完成企业重组。优势互补,再次启程,旨在打造中国领先的半导体装备产业平台,这是精良品质和卓越服务有力明证,也是作为一个为全球半导体制造用户提供更具竞争力的半导体制造装备和先进制程解决方案的国际品牌的坚定一步。2018年1月,北方华创微电子实现了对美国Akrion公司的收购,使得北方华创微电子有能力更好地为全球范围的客户提供全面的清洗工艺设备解决方案。


北方华创微电子将继续以“创造精良,打造民族自尊”为己任,发扬“精良品质·卓越服务·中国制造”的企业精神,以高端微电子工艺装备领先企业的姿态登上世界舞台,深耕发展,引领未来,坚持以客户需求为导向的持续创新,助推产业技术进步,带给产业无限可能。


上海新国际博览中心,N3馆3339展位,我们期待与您相遇,共享行业盛典。



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