首页>行业前沿>企业新闻>正文
行业前沿 News
企业新闻
北方华创微电子集成电路PVD设备安装量超过100腔室
发布时间:2018-03-14

  初春三月,春暖花开。北方华创微电子PVD设备在集成电路主流生产线安装量超过100腔室。这是北方华创在集成电路领域市场化道路上的里程碑式的跨越,是国产高端PVD设备在集成电路领域的全面突破


PVD设备是集成电路制造制程核心的薄膜工艺设备。北方华创是国内唯一的集成电路PVD设备生产厂商,拥有磁控溅射源设计、等离子产生与控制等多项核心技术,并拥有自主知识产权。北方华创率先推出的TiN Hardmask PVD系统、Al Pad PVD系统等产品,已经应用于28nm及14nm工艺制程。其中,TiN Hardmask PVD系统已成为28nm大生产线中首台国产Baseline机台。TiN Hardmask PVD以优异的工艺表现获得国际主流客户的青睐。Al PadPVD系统,也顺利打入国际供应链体系,实现了在逻辑、存储和新型显示等多个领域的应用


除了在集成度电路领域应用外,北方华创PVD设备技术也延伸应用于先进封装和半导体照明等领域。从2012年首台设备进入产线应用开始,至今已完成超过320个工艺腔室的销售安装,累计量产超过800万片


半导体装备是半导体产业的基础支撑产业。从国家科技重大专项实施以来,国产高端集成电路工艺设备实现了从无到有,从有到用的突破。北方华创除PVD设备产品外,刻蚀机、CVD、氧化炉、退火炉、合金炉、清洗机等集成电路工艺设备均实现了产业化应用,成为国内最大的集成电路高端工艺设备供应商


相关内容推荐