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北方华创微电子获Micro-OLED设备订单
发布时间:2018-03-24

20183月,北方华创微电子12英寸刻蚀机、PVD及立式退火炉获得硅基微显示领域客户的批量采购订单,标志着北方华创微电子半导体设备技术成功延伸应用于硅基OLEDMicro-OLED)这一新型显示领域。


Micro-OLED是以单晶硅为有源驱动背板制作的OLED显示器件,区别于常规的利用非晶硅、微晶硅或者低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS)为背板的AMOLED器件,其像素为传统显示器件的1/10,具有高分辨率、高集成度、低功耗、体积小、重量轻等优势。随着VR/AR的广泛应用,Micro-OLED等新型显示技术得以快速发展。据高盛预测,到2025年,VRAR的软硬件年销售额将达到800亿美元。


Micro-OLED是半导体技术与OLED显示技术完美结合的产物,可利用半导体制造工艺来实现。北方华创微电子利用半导体设备技术基础,已经成功的将金属刻蚀、介质刻蚀、金属溅射、氧化物溅射、中低温退火等工艺设备应用于Micro-OLED显示领域,相关设备可兼容多种衬底,具备灵活的工艺整合能力,满足新型显示领域客户多种制造工艺的要求。

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