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北方华创硅外延APCVD设备荣获“第十二届中国半导体创新产品和技术项目”奖
发布时间:2018-04-13

  4月12日,北方华创微电子自主开发的硅外延APCVD设备荣获“第十二届中国半导体创新产品和技术项目”奖。




  北方华创微电子硅外延APCVD设备应用于功率半导体和集成电路领域,兼容6吋和8吋硅外延片的生产,适用于厚度5-130um范围的N型和P型外延工艺,具有成膜均匀性好、产能高、兼容性好、自动化程度高、占地面积小等优点。设备已进入商业化应用阶段,实现了批量销售。




  “中国半导体创新产品和技术项目”奖旨在鼓励半导体产业界的科技创新活动,评选活动由中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会和中国电子报社共同组织。


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