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七星US700气体质量流量控制器荣获“第十二届中国半导体创新产品和技术项目”奖
发布时间:2018-04-16

  2018年4月12,在南京召开的“2018中国半导体市场年会暨第七届集成电路产业创新大会”上,七星US700流量计荣获“第十二届(2017年度)中国半导体创新产品和技术项目”奖。




  七星流量计是北方华创微电子下属业务单元,是国内领先的气体质量流量控制器(MFC)研制生产厂商,先后推出了模拟和数字气体质量流量控制器,产品广泛应用于集成电路、光伏、分析仪器、生物医药等领域。本次获奖产品US700气体质量流量控制器是新研制的数字产品,具有控制精度高、低工作压差等特性,适用于半导体离子注入工艺及其他相关集成电路制造工艺。




  “中国半导体创新产品和技术项目”奖旨在鼓励半导体产业界的科技创新活动,评选活动由中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会和中国电子报社共同组织。

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