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NAURA 100 GO | 北方华创第100台氮化铝PVD设备顺利交付
发布时间:2018-04-24
  2018年4月23日,北方华创微电子第100台AlN PVD设备顺利出货,发运客户生产线。交付仪式在亦庄经济技术开发区生产基地隆重举行,耿锦启副董事长、纪安宽副总裁、丁培军副总裁与AlN PVD设备项目组及生产团队共同见证了这一激动人心的瞬间。





  NAURA AlN PVD设备,是继ELEDE®️系列刻蚀机、EPEE™️系列PECVD设备之后,北方华创在LED领域第三个突破百台大关的单系列产品,它不仅是中国自主知识产权打造的高端装备、并与国际同行同时发布的创新见证,更彰显了LED高端装备制造的中国实力。如今,100台的出货交付,是其市场认证有效的名片,是其工艺性能更有竞争力的佐证,更预示着其未来市场更多的机会,更多的100台。






  NAURA iTops A230系列AlN PVD产品成功应用于GaN基LED制程的薄膜缓冲层沉积设备,其可提高缓冲层与GaN外延层的晶格匹配度,提高LED产品的输出效率;拓宽MOCVD设备的工艺窗口,使产品的ESD测试通过率大幅提高;减低MOCVD的外延生长时间,提高产能,使整线的生产成本降低。自发布以来,NAURA AlN产品先声夺人,凭借其优越的工艺性能、技术稳定性和具有竞争力的CoO,在LED市场收获较高占有率和客户认可度,成为产业当之无愧的明星产品。




  而今,中国半导体产业崛起正当时,作为目前国内半导体高端工艺装备的领先企业,北方华创将义不容辞承担起时代赋予自己的使命,秉承“以客户需求为导向的持续创新”这一理念,积极探寻各种新技术的应用,并持续推动产业化、市场化、国际化,以更优质的产品服务全球客户,助力国之重器腾飞,携产业同仁共绘新时代“智造强国”的梦想蓝图。


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