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北方华创主导编写的负压扩散炉SEMI 光伏标准发布
发布时间:2018-06-05
  2018年5月26日,“SEMI中国光伏标准技术委员会2018年度春季会议”在上海万和昊美艺术酒店召开。北方华创作为SEMI中国光伏标准技术委员会的核心委员单位参加了会议,与会者包括来自全国各地50余家企业及科研院所的110余位委员及专家代表。



  本次会议上,北方华创主导编写的SEMI标准《Guide for Specifying Low Pressure Horizontal Diffusion Furnace》(SEMI标准号:SEMI PV 81-0318,中文名:用于规范负压卧式扩散炉的指南)顺利发布,SEMI中国光伏标准技术委员会主席张光春先生为北方华创颁发了《SEMI标准发布证书》、《SEMI标准出版证书》。该标准于2015年3月由北方华创牵头组织编写,期间经过多轮讨论与完善,于2017年10月SEMI光伏标准秋季会议上通过最后一轮全球投票,在完成SEMI标准最后的Audit & Review流程审核后,于2018年5月向全球发布。




  负压扩散炉SEMI标准参编单位包括晶澳、阿特斯、天合等下游电池和组件企业,以及相关的设备企业。负压扩散炉SEMI标准的发布,说明中国光伏生产设备相关指标达到国际先进水平,具备全球标准的制定能力。北方华创是国内领先的半导体设备制造企业,利用集成电路设备技术的延伸应用,大力发展与提升光伏、LED等泛半导体设备,成为高端设备的代表企业之一,其中负压扩散炉、LED刻蚀机、LED PVD技术指标及工艺性能处于国际领先水平,可替代进口产品,成为下游用户的主要供应商。


  北方华创一直积极参与SEMI标准的制定,到目前为止,共参与制定SEMI半导体标准3项、SEMI光伏标准2项,代表国内企业积极在全球半导体及光伏行业发出中国声音。


  SEMI中国光伏标准技术委员会成立于2011年12月,截至目前,已发布了25项SEMI国际产业标准,另有18项标准正在制定中,SEMI中国“光标委”已经成为全球规模大较为活跃的标准委员会。

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