首页>行业前沿>行业资讯>正文
行业前沿 News
行业资讯
北方华创吴军-功率器件领域的硅外延设备解决方案
发布时间:2018-07-25

  来源:半导体行业资讯


  7月24日第十二届中国半导体行业协会半导体分立器件年会在贵阳举行,会上北方华创微电子副总裁,CVD事业部总经理吴军博士做了《功率器件领域的硅外延工艺设备解决方案》的报告,主要介绍了硅外延工艺在硅基功率半导体领域的应用和北方华创硅外延设备的情况。


  以下内容为吴军博士的分享,有半导体行业资讯整理。





  传统功率器件主要包括晶闸管BJT GTO等,现代功率器件功率区间包括功率MOS器件,IGBT,Power IC等。


  功率器件的发展趋势:新结构,新材料,新工艺。



  外延技术的应用包括硅外延,化合物外延。


  硅外延技术的应用,不同掺杂源,不同衬底图形,不同的腔室压力,不同的工艺温度,不同的外延生长方式,不同的外延材料。



  硅外延技术的应用:GTR器件



  硅外延技术的应用:LDMOS器件



  硅外延技术的应用:VDMOS器件



  硅外延技术的应用:IGBT器件



  硅外延技术的应用:Multi-epi超结器件



  硅外延技术的应用:Deep Trench超结器件



  北方华创的硅外延工艺设备




  北方华创硅外延工艺设备包括针对厚膜硅外延的SES多片硅外延工艺平台和针对薄膜硅外延工艺的Esther单片硅外延工艺平台。


  硅外延的技术特点。




  SES多片厚膜外延设备介绍






  Esther单片薄膜外延设备介绍








  SIC材料的功率器件主要优势及目前面对的主要问题。



  北方华创APS系列SIC单晶炉产品的工艺能力




  北方华创针对功率器件除了以上硅外延设备,SIC晶体生长设备外,还可提供包括ETCH,PVD,Wet Clean,卧式氧化扩散/LPCVD等工艺设备。


  北方华创作为中国最大的半导体装备制造企业,在IC,先进封装,MEMS及功率器件,LED,新能源光伏,平板显示等六大领域进行了全面的产品布局。


  北方华创在拥有亦庄开发区,天竺保税区和美国宾夕法尼亚州三大制造基地。建筑面积18万平米,净化厂房4万平米。

相关内容推荐