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北方华创8英寸全新装备解决方案,助力集成电路特色工艺发展
发布时间:2018-09-14
  2018年9月12-14日,北方华创微电子参加了在无锡召开的2018中国集成电路产业发展研讨会暨第二十一届中国集成电路制造年会。本届年会由中国半导体行业协会主办,由集成电路分会、国家集成电路封测产业链技术创新战略联盟、江苏省半导体行业协会、无锡市经济和信息化委员会等单位承办,吸引了800多名行业专家及产业链上下游相关人士参会交流。

  14日上午,北方华创微电子公司副总裁、首席科学家刘韶华博士在《先进制造工艺与技术》专题论坛上发表题为《北方华创8英寸半导体设备解决方案》的演讲。主要介绍了北方华创在8英寸集成电路领域的特色工艺设备解决方案,并倡导与业界同仁一起,携手创新,提供更满足市场需求的特色解决方案。

  当前,汽车电子、物联网、云计算等行业发展势头强劲,对MOSFET、IGBT、MCU、MEMS等产品需求旺盛,带动8英寸晶圆厂产能满载,市场紧俏,扩产热潮高涨,与此同时新需求也带动新工艺、新挑战层出不穷。北方华创微电子将多年12英寸先进工艺设备的开发理念,应用于8英寸特色设备的设计与创新,与客户一起,面对新结构、新材料、新工艺,定制开发,提供针对新需求的全新解决方案,并从硬件设计、软件开发、工艺支持、零部件供应等多方位,不断与产业链深度合作,打造真正为客户创造价值、助力特色工艺发展的国产高端装备解决方案。目前北方华创微电子可提供ETCH、PVD、CVD、Furnace、Wet Clean五大类、10余种特色8英寸工艺设备。

  值得一提的是,北方华创微电子针对深沟槽刻蚀工艺特点定向开发、具备高刻蚀选择比和低等离子体损伤等优势的508DTE深硅刻蚀设备,以及引入新型控制设计理念,保障Taiko Wafer及整面减薄Wafer无损传输、并提供更多工艺位置的eVictor GX20 PVD设备,不久前再次斩获国内IGBT主流生产线的批量订单,切实为我国集成电路特色工艺“安全自主可控”的“芯”征途,开疆拓土,担当践行。

  未来,北方华创微电子定将不负期望,砥砺前行,与产业同仁紧密携手,共绘集成电路特色工艺发展新篇章。


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