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北方华创真空炉极限指标取得突破
发布时间:2018-12-12

近日,由北方华创真空自主设计研发的真空炉在真空极限指标测试中取得突破性成果,在特定腔体容积和温度条件下,其真空度性能极限指标刷新测试记录。


通常状态下,在2.5m³炉腔体积内,加热温度950℃工艺条件下,冷态和热态极限真空度峰值的突破点在8.0⨯10-6Pa8.0⨯10-5Pa,北方华创真空通过最优化的真空系统配置及相关细节的优化,其冷态极限真空度可达3.7⨯10-6Pa,热态极限真空度可达6.4⨯10-5Pa,极限真空指标大大满足客户需求,刷新了北方华创真空在此腔体体积和加热温度条件下的真空极限指标的测试纪录,具有里程碑式的意义。


此项目设备主要应用于科学研究领域,针对超导材料进行的一种真空热处理工艺。目前,硬X射线自由电子激光装置(SHINE)是一种先进的高重复频率X射线光源,将为众多领域科学和技术研究提供最新一代的大科学实验平台。该装置的核心部件超导直线加速器中的关键模块——超导加速模组(Cryomodule)对制造设备工艺及性能的指标有着严格的要求,尤其在此项工艺的热处理过程中,对设备洁净度和真空度的要求极为严苛。北方华创真空炉的主要应用就是基于对超导加速模块中高频腔组件的热处理工艺。



(真空炉设备)


北方华创真空本着对科研领域项目高度负责的态度,积极组织精英人才资源,在设计、采购、制造、检验、调试等环节都严格把控,通过优化机械结构、关注装配细节、准确计算真空参数、精确模拟热场指标、采用先进的密封和焊接技术、炉体内腔及管道表面的特殊工艺处理以及高标准的质量检测,经过多方努力与合作,不仅在设备洁净度方面有了大幅提升,在真空炉真空极限指标的测试中也取得了突破进展。


北方华创真空一直以高真空作为核心技术之一,此次真空极限指标的突破,积累了大量真空系统配比、机械结构设计、密封工艺、表面处理工艺、装配工艺等相关技术环节的创新经验,标志着北方华创真空在高端真空技术的探索中又完成了一次超越,在高真空工艺的市场探索和满足客户工艺要求方面有着重要的意义。北方华创真空也将不断突破自我,追求真空领域的更高标准。

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