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相约SEMICON China 2019,北方华创半导体装备解决方案闪耀亮相
发布时间:2019-03-20
  N3 3339,邀您开启探索之旅

  2019年3月20日,SEMICON China 2019在上海新国际博览中心隆重拉开帷幕,北方华创携Etch, PVD, CVD, Furnace, Wet Clean, MFC等高端半导体工艺装备及核心零部件解决方案闪耀亮相,为集成电路、先进封装、半导体照明、功率半导体、微机电系统、化合物半导体、平板显示及新能源光伏等领域奉上价值至臻之选。国家工信部及科技部领导莅临北方华创展台指导交流。





  同时,北方华创微电子总裁丁培军博士、副总裁吴军博士将在展会同期举办的研讨会上发表精彩演讲,与业内同仁共话装备产业“芯”未来。



  努力奔跑,NAURA加速追梦之路

  历经近二十年的奋力奔跑,北方华创在泛半导体的各个领域,从起步到深耕,逐步结出丰硕的果实,获得行业客户的信赖。

  在集成电路领域,北方华创可提供刻蚀机、PVD设备、单片退火设备、ALD设备、氧化/扩散炉、LPCVD、单片清洗机以及槽式清洗机等产品,覆盖刻蚀、薄膜、扩散、清洗四大工艺模块,为集成电路领域提供先进的工艺解决方案。其中,由北方华创自主研发的面向先进制程的等离子硅刻蚀机、金属刻蚀机、TiN hardmask PVD、Al Pad PVD、ALD、单片退火系统以及SiNx LPCVD等已全面进入集成电路主流代工厂供应链体系。面对国内蓬勃发展的存储芯片制造市场,北方华创深耕客户需求成功斩获批量订单,将硅刻蚀、PVD、氧化/退火、清洗等设备成功推入生产线并实现稳定量产。凭借着卓越服务以及优异的工艺性能,不断被制造企业指定为POR机台,屡获客户认可和好评,实现了中国集成电路高端装备制造技术的一个个突破。借助集成电路产业的良好发展契机,北方华创愿与客户携手并肩,一步一个脚印,在创新的道路上加速前行。

  在先进封装领域,北方华创可为Flip Chip Bumping、Fan-out、WLCSP等封装技术提供UBM/RDL PVD和Descum等离子体表面处理设备及解决方案;还可为2.5D/3D封装提供高深宽比TSV刻蚀、TSV PVD工艺解决方案。多年来,北方华创持续与主流封测厂在晶圆级封装业务上长期深度合作,并不断获得重复订单,产品日益成为先进封装生产线的首选,肩负了客户规模量产的重任。随着先进封装技术的不断发展,面临更大晶圆翘曲、更小线宽、更高精度要求以及更加复杂的基材结构等一系列挑战,北方华创已有深度研发和技术积累,并将紧密与客户配合,快速响应,为市场提供更加优质的产品和解决方案。

  在LED领域,北方华创为客户量身定做的GaN 刻蚀机、PSS刻蚀机、PECVD、AlN Sputter等设备均为当前行业标杆产品,设备销量破千台,成为客户信赖的技术创新产品。其中,AlN设备不仅获得大陆客户的全面认可,还收获美国、中国台湾和韩国客户的认可;同时,北方华创提供的ITO Sputter设备,通过不断的技术进步,电压和亮度优于国际同行,为客户带来价值。着眼未来,我们将百尺竿头,更进一步,不断加大研发和创新投入,丰富产品阵容,提供更先进的工艺装备解决方案,并探索mini/micro LED等新兴应用,力求与LED客户共同进步。

  面向目前高速增长的MEMS及新兴市场,北方华创深硅刻蚀设备获得了市场的广泛认可,已批量进入顶尖科研机构及生产线。深硅等离子刻蚀设备凭借优异的工艺性能,已突破海外市场,为全球客户提供先进工艺解决方案。北方华创刻蚀设备已全面服务于 MEMS传感器、光通信器件等新兴领域。随着硅基OLED显示技术兴起,北方华创凭借优良的工艺技术性能,硅刻蚀机、金属刻蚀机、PVD、氧化退火炉、清洗机等产品已全面服务于主流硅基OLED显示企业。展望未来,我们将与顶尖研究机构及生产线保持密切合作,坚持以客户为中心,持续不断的创新发展,助力客户探索前沿科技,布局未来技术。



  在第三代半导体领域,北方华创可提供SiC刻蚀、GaN刻蚀、介质刻蚀、高温炉、LPCVD、PECVD以及PVD等关键设备,可提供第三代半导体功率器件和射频微波器件整体解决方案;此外,北方华创为第三代半导体领域量身打造的SiC长晶炉设备性能优异,获得了客户的批量订单;全新推出的先进ALE原子层刻蚀设备,可满足HEMT器件的低损伤工艺要求,已成功进入知名功率芯片制造工厂,为国产设备在高端半导体装备领域再添新秀。

  在硅材料制造领域,北方华创应用于单片/多片硅外延的APCVD系统能满足外延厂和芯片厂的差异化需求,自问世以来,不断获得重复采购,在2018年的新增市场中占据半壁江山。NAURA Akrion槽式清洗机产品性能优异,在世界知名的硅晶圆生产企业拥有大量的装机量。此外,北方华创还可提供氧化炉、退火炉和单片清洗机等设备及工艺解决方案。在如火如荼的大硅片扩产浪潮中,北方华创愿与中国大硅片产业共同成长。

  在新能源光伏领域,北方华创研制的新型低压扩散炉,高效单晶生长设备销量稳居国内高效光伏电池领域前列,客户覆盖海内外。全新升级的大产能PECVD设备,性能更加匹配客户需求,同时还可帮助客户进一步降低生产成本。应用于新能源光伏领域的全自动多晶黑硅制绒机、卧式氧化/扩散炉、PECVD、单晶炉等设备均已实现进口替代。全新研发的砷化镓清洗机和砷化镓外延剥离腐蚀清洗机作为砷化镓薄膜电池的核心工艺设备,已顺利进入客户生产线。

  在平板显示领域,北方华创作为国内知名的平板显示设备供应商,可提供Mask Cleaner 、Grind Cleaner、TAU、 TCU、TRU、Edge Inspection、UV CURE 、Index等设备。其中自主设计研发的Index、UV Cure、Grind Cleaner设备在国内一直保持着较高市场份额。OLED核心设备Mask Cleaner实现了较高的市场占比。TAU等节能环保类产品自2016年推向市场以来,获得了客户的一致认可并实现批量采购,现已拥有较高的市场份额。

  此外,北方华创在气体流量测量和控制方面拥有多项关键技术,MFC产品远销欧美,是中国流量计品牌的佼佼者。其CS系列数字MFC产品的技术指标满足高端装备使用要求,已经广泛应用于半导体、光伏太阳能、真空镀膜、TFT等行业生产线,累积销售量超过20余万台。

  携手同仁,打开未来之门

  北方华创微电子在追梦之路上取得的成绩离不开合作伙伴的倾力支持,离不开各位业界同仁给予的关怀和帮助,更离不开各领域客户对国产设备的信任和包容。

  着眼未来,物联网、大数据、云计算和汽车电子、虚拟现实(VR/AR)等新兴市场驱动半导体产业新浪潮,北方华创愿以工匠之心,超越之心,深耕先进技术,并与产业同仁共携手,共同开启美好“芯”未来。








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