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七星流量计发布多种新品,为客户流量测控提供更多选择
发布时间:2019-03-20
  北方华创全资子公司北京七星华创流量计有限公司始终以技术创新为基点,为客户提供流量测控解决方案,并致力于成为国际领先的质量流量控制器产品服务商。为了更好地满足半导体领域对气体流量、压力等方面的控制需求,七星流量计从客户需求出发,不断推出系列新品,帮助客户提升使用性能。

  CS500压力式气体质量流量控制器,主要是针对先进半导体技术发展趋势,研发生产适用于高端大规模集成电路设备的产品。该产品采用压力传感器技术,具有压力不敏感、零点漂移小、控制精度高、响应时间快等优点;采用压电阀技术,利用压电陶瓷在电压作用下产生弯曲变形而制成控制阀,具备响应时间快、不发热、驱动力大、结构简单等优点,符合半导体大规模集成电路制造的要求。CS500大幅提升了气体质量流量的控制、测量的准确度及可靠性。


   P100反应腔室压力控制器,是七星流量计最新研发的产品。该产品用于稳定腔室内的压力,使气体分子沉积均匀,实现晶圆膜厚度的一致性。在半导体领域以及真空镀膜等领域有着重要的作用。P100产品主要采用316L不锈钢和聚四氟乙烯(PTFE)材料制成,接触气体的部分采用PTFE材料,提高产品的耐腐蚀性和使用寿命。采用步进电机控制蝶阀结合PID闭环控制算法,自主研发中央控制单元,通过改变阀开度实现对腔室内压力的调节。



   K1000(M)产品是七星流量计新推出的多气体多量程数字产品,用户可在客户端便捷地进行气体种类和流量的变更,最大限度的为用户减小库存;该产品采用Progressive PID技术,在全量程范围,响应速度≤1秒;其流量传感器采用新型耐腐蚀合金,提高对氯气类气体的耐腐蚀性能;产品可支持0~5VDC模拟信号、数字信号,可通过专用软件设定警报、监控MFC内部信息。



  K1200、K1500产品是七星流量计推出的数字大流量产品,最高流量可达500SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品在全量程范围内的响应时间不超过3秒,流量精度更高,将使用过程中产生的系统误差降至最小,产品支持DeviceNet,RS485通讯协议。




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