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“北京市科学技术奖”获得者:陈鹏——相隔17载的两次“坚定”
发布时间:2020-09-24
  “能够见证和参与半导体装备产业的发展,幸甚至哉。”在北京市科学技术奖励大会的现场,面对记者的采访陈鹏如是说。

  2020年9月10日,2019年度北京市科学技术奖励大会在国家会议中心隆重召开,大会首次设立人物奖,北方华创射频工程中心总经理陈鹏荣获“杰出青年中关村奖”。




初出校门 坚定选择北方华创

  2003年,陈鹏硕士毕业,坚定地选择来到北方华创,理由是——“这是一个创业的团队”。

  公司初创,条件艰苦,但那段时光在陈鹏的记忆里却很快乐,那种“恰同学少年,风华正茂”的创业氛围千金难换。当时正处在研发100nm高密度等离子刻蚀机的攻坚阶段,时间紧,任务重,团队成员都拿出百分之百的时间和精力投入到研发工作中。2003-2006年,陈鹏团队开发出与国际主流技术相当的ICP(电感耦合等离子体)和CCP(电容耦合等离子体)技术,促使我国刻蚀设备研制能力大幅提高,产品达到大生产线主流机型水平,具有自主知识产权的国产关键设备开始出现在集成电路生产线上。2009年,该项技术获得国家科技进步二等奖。



深耕17载 坚定“中国芯”未来

  2003年至今,在同一个专业、同一个企业、同一个行业,陈鹏已深耕了17年,“要有恒心、有创新,当我们挖得足够深的时候就能挖出水来”。

  创新的重要性不言而喻,但如何达成,许多人终其一生难得其要领。对此,陈鹏认为,创新并不是“一拍脑袋”式的灵光乍现,而是靠水滴石穿的点滴积累与迭代。17年来,他带领团队,刻苦钻研,反复试验,不断优化,在射频电源、高压可变真空电容等半导体装备关键零部件领域深耕细作,努力推动北方华创与供应链上游企业达成战略合作,为国产半导体制造装备的稳健发展及装备产业链的搭建起到了重要作用。截至目前,陈鹏所申请的发明专利共有45项,其中作为第一发明人的有20项。

  功成不必在我,功成必定有我。“团队”是陈鹏坚定相信“中国芯”未来发展的关键因素。陈鹏反复强调自己的力量非常有限,“虽然这次是以个人名义获奖,但这是整个华创射频团队做出来的成绩。”

  坚守“中国芯”的征程可谓道阻且长,提及面临过最大的挑战,陈鹏觉得挑战时时都有、刻刻都在,关键在于以何种姿态迎接它。不管是对于一个人还是一家公司来说,如果把面临的挑战看成是“化了妆的祝福”,看成是前进的动力,那么从种子长成参天大树只是时间问题。



  作为一个高新技术企业,NAURA的价值观“NEW VISION创新”,已经成为企业灵魂的一部分,只有坚持不断创新,企业才能实现可持续发展。北方华创人正以创新力作为核心竞争力,扎根关键核心技术领域,深入克难攻关。陈鹏倡议,“从我做起、躬身践行,以不弃微末、久久为功的姿态接续奋斗、攻坚克难,凝聚NAURA持续创新的澎湃动能!”





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