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物联网浪潮来袭,MEMS制造装备蓬勃生长
发布时间:2020-11-06
  2020年10月28日至30日,第二届中国MEMS制造大会在苏州国际博览中心盛大举行,北方华创受邀发表了题为《MEMS“芯”机遇与NAURA解决方案》的演讲,重点介绍了北方华创在MEMS制造领 域的新进展。



  北方华创多年来深耕MEMS领域,攻关前沿半导体技术,能够为MEMS产业提供多样化的国产装备及工艺解决方案。NAURA HSE系列刻蚀设备应用于MEMS硅刻蚀工艺,已在生产线量产多年,性能稳定,完全匹配客户需求;GSE C200刻蚀设备主要用于GaN器件、GaAs器件、IR红外传感器等III-V和II-VI材料器件工艺,刻蚀材料范围广,兼具低速低损伤的原子层刻蚀(ALE)能力;GDE C200专为SiC背面通孔刻蚀、SiC栅槽刻蚀设计,工艺兼容性良好,能够完全满足器件工艺要求。



  九万里风鹏正举,万亿级物联网市场乘势而来,助力MEMS技术和产品蓬勃生长,北方华创愿与客户继续深化战略合作,坚持以客户需求为导向,共赢发展!
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