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七星流量计金属密封MFC加“大流量”了
发布时间:2021-03-26
  气体质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制,大量应用于半导体领域。金属密封大流量气体质量流量控制器,在CVD、PVD、清洗机等设备上起着关键作用,但它的技术壁垒高、开发难度大,导致长期依赖进口。


  北京七星华创流量计有限公司作为一家专注流量测控领域40余年的企业,为打破这一局面,组建了金属密封大流量项目攻关团队,耗时20个月,终于在2020年8月完成了CS330金属密封大流量产品的研发工作,经过半导体行业客户验证后逐步优化,最终走向产业化。




  金属密封大流量CS330产品研发不断创新。在部件选择上,采用了全金属密封大流量调节阀和大流量分流器,并选用体积小、零漂小、抗干扰能力强的传感器,从根本上夯实了产品基底;在结构设计上,采取了新型金属密封结构,不仅密封更可靠,还降低了装配难度,保证了产品的一致性;在技术创新上,新型低噪声、高抗干扰信号的传感器驱动技术,增强了产品的抗干扰能力,提高了产品的准确度及稳定性;在生产制造上,采用了高精密金属加工及表面处理技术,采用机器人对零件进行表面抛光,保证表面粗糙度一致性的同时,提高了生产效率。


  随着半导体设备需求的增长,金属密封大流量MFC产品的需求量也随之增长,目前北方华创作为创新主体已经行动起来,未来将继续依靠创新驱动和高质量生产,引领和创造新的产业增长极。



人工智能的机器人、抛光部件




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