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北方华创300mm立式炉荣获“IC创新奖"
发布时间:2021-04-09
  3月20日,中国集成电路行业具有影响力之一的“2021中国集成电路创新联盟大会”在北京和上海两大主会场举行,会上颁发了第四届集成电路产业技术创新奖(简称“IC创新奖”)。北方华创凭借“应用于存储器领域的300mm立式氧化炉”项目,在126家单位申报的159个参选项目中脱颖而出,斩获“IC创新奖”成果产业化奖。


  中国集成电路创新联盟主办的“IC创新奖”,由国内集成电路产业技术领军人才、战略科学家以及申报项目所属领域的顶级权威专家等提名评审,经国家科技部备案,是集成电路产业最重要的技术奖项之一。其中,“成果产业化奖”旨在表彰集成电路创新成果产业化推进和市场拓展上取得突出业绩的产品。北方华创300mm立式氧化炉,自2017年底进入国内高端3D NAND生产线以来,氧化、退火工艺不断优化,最终通过客户端验证并已实现多次重复采购,其自动化程度、稳定性、技术指标等多方面可媲美国际先进水平,得到客户的普遍认可。此外,该产品还在Logic、Power等领域实现广泛应用。截至目前,该产品总装机量已超过百台,实现了国产300mm立式炉产业化发展的历史性突破,技术创新成果经过了大规模量产推广应用。



  大会颁奖材料中指出:北方华创作为我国集成电路制造领域的先进企业,长期坚持在产业研发的第一线,创新成果丰硕。自2007年北方华创300mm立式氧化炉项目研发开始,北方华创立式炉团队以创新发展“拓荒牛”的精神,承担起发展中国高端装备的历史使命。十余年来,团队成员一起攻坚克难,在技术积累极其薄弱的背景下,聚焦客户需求,整体设计、长远布局、重点突破、构建体系,为中国集成电路产业做出了重大贡献。



  从无到有,从有到优,从优到精,经过十余年艰苦努力,北方华创300mm立式氧化炉产品的成功研发引领了我国集成电路装备产业链的创新升级,构建了较为完备的创新体系,积蓄了以客户为导向的创新能力,为产业发展持续贡献力量。

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