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小而非凡,北方华创助力MicroLED产业发展
发布时间:2021-04-16
  2020年以来,MiniLED背光应用蓬勃发展,小间距LED商用显示产品悄然普及,市场需求大规模放量,北方华创多款产品在海内外各大主流产线中均有大量应用。更小尺寸的MicroLED的芯片制作对设备提出了更高的要求,NAURA积极布局相关设备研发,产品覆盖ICP ETCH、PECVD、PVD(AIN sputter、Metal sputter、ITO sputter)、ALD等设备种类。



  在传统ICP刻蚀设备的基础上,NAURA LED ICP刻蚀设备对上下电极系统、加热控温系统进行了优化设计,实现了刻蚀均匀性的有效提升,能够满足MicroLED芯片的均匀性及边缘利用率要求。此款设备适用于MicroLED多种材料刻蚀,覆盖蓝绿、红黄芯片制造全流程,具有精准的线宽控制与高速刻蚀能力,可实现稳定量产并具备优异的刻蚀均匀性。同时,该设备配置的Cassette in Cassette out自动生产模式可实现优良的颗粒控制能力。



  NAURA LED PECVD设备采用托盘载片和多站动态作业模式,为MicroLED芯片制造提供了先进的PECVD工艺设备解决方案。通过对镀膜方式的迭代升级,实现了更优的片内和片间均匀性;通过对反应腔上下电极系统的优化设计,实现了更大的单机产能输出能力。近年来,NAURA LED PECVD设备的颗粒控制能力以及自动化程度明显提升,可实现工厂端自动化生产,能够满足MicroLED对芯片制造的要求。

  随着LED显示技术和产品的不断创新,新技术的每一次超越与落地,对于行业发展都具有重大意义。在未来,NAURA将用更多的创新热情与业界同仁一起带给产业更多可能!




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