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北方华创12吋清洗机获中芯国际二次订单
发布时间:2017-02-21

  近日,北方华创全资子公司北方华创微电子自主研发的Saqua系列12吋单片铜互连清洗机获得客户二次订单,进入中芯国际B2芯片生产线,标志着公司又一款28纳米工艺制程设备获得市场认可。

  Saqua系列清洗机是北方华创研制的,具有完全自主知识产权的新一代高端集成电路清洗工艺设备。Saqua系列清洗机立足于全新的模块化设计理念,先后通过了65nm、55nm、40nm等工艺验证,各类工艺指标表现优异,全面满足集成电路铜制程清洗工艺的要求,达到国际同类型产品同等技术水平。

  Saqua系列单片铜互连清洗机通过了严苛的工艺验证及试生产,截止2016年12月,Saqua清洗机在IC大生产线上累计流片量突破60万片,创造了国产集成电路设备流片量纪录,充分验证了Saqua清洗机的工艺适用性及可靠性。为此,2016年12月20日,公司与中芯国际在亦庄举办了以“不忘初芯、共创未来”为主题的庆祝会,中芯国际副总裁张昕先生充分肯定了公司产品的表现,对未来双方的合作充满信心。

  北方华创作为中国自主研发高端半导体装备的先行者,以“精良品质、卓越服务”为服务理念,致力于为客户提供先进的工艺设备解决方案,为客户创造更多价值,实现国产集成电路装备的不断超越!



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