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半导体装备 Semiconductor
ELEDE® 380E PSS刻蚀机 ELEDE® 380E PSS Etcher
  图形化蓝宝石衬底(PSS)是LED制备中的一项关键技术,通过增加LED的内量子效率和提高光提取效率,可以将光效有效提高30~50%,是提升芯片亮度的有效、直接方法,也是大功率高亮度LED的选择。随着AlN技术的引入和芯片价格的持续下滑,PSS衬底向更大的尺寸(1.8μm*2.8μm甚至更大)、更好的均匀性(片内<3%,片间<3%,批间<3%)、更高的产能(单台月产能>7000片)、更低的生产成本(耗材成本、黄光成本)等方向发展,传统干法刻蚀设备由于选择比的局限性,已不能满足要求,LED市场亟待新一代的高性能干法刻蚀设备,更好的满足LED P...

应用领域:

  LED照明领域


应用领域:

  LED照明领域的图形化蓝宝石衬底刻蚀、纳米级图形化蓝宝石衬底刻蚀

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