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ELEDE® 380G+/G380C刻蚀机 ELEDE® 380G+/G380C Etcher
  ELEDE 380系列刻蚀机是LED芯片制作的关键设备, 可以用于正装芯片,倒装芯片,垂直芯片这三种芯片中的电极刻蚀(刻蚀材料GaN, AlGaInP/GaP),隔离刻蚀(刻蚀材料GaN, GaAs),钝化层刻蚀(刻蚀材料SiO2, SiNX),介质反射层刻蚀(刻蚀材料SiO2 TiO2),金属阻挡层刻蚀(刻蚀材料TiW)。良好的刻蚀均匀性对芯片的亮度和良率至关重要,ELEDE 380系列产品结合独特的线圈设计、下电极设计和托盘设计,实现良好的工艺均匀性控制,满足不同产品制程中的多种刻蚀材料工艺应用,ELEDE 380系列刻蚀机是LED领域标杆产品

应用领域

  半导体照明


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