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CS100系列 数字式质量流量计/质量流量控制器 CS100 Series Digital Mass Flow Meter/ Mass Flow Controller
      气体流量的测量控制在工业生产过程广泛地运用,质量流量控制器(MFC)除测量外还可以精密控制气体的质量流量。MFM/MFC具有不因温度和压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点随着微电子技术的发展,测量手段和补偿方法得到了很大的提高。随着传统能源的逐渐减少,可再生能源需求逐年增加,太阳能电池、燃料电池的研究和制造在全球如火如荼的发展,伴随科技的发展,半导体、液晶面板、ITO屏幕及新一代建筑幕墙玻璃的研究和制造在各地日新月异的进步。在以上制造工艺中,对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率,进而节约了能源和提高了生产力。北方华创致力于质量流量计的发展,为一流的制造工艺,包括半导体、光电和LOW-E玻璃的制造提供服务,并将继续开发新的产品来满足客户的需求。

应用领域

光伏、真空镀膜、分析仪器、节能环保、科研设备、功率器件


产品优势

  • 可满足客户宽范围流量计需求,适合从小流量(5sccm)到大流量(30slm)的量程需要。
  • 准确度采用设定点精度,高端产品精度可达±1.0% S.P.,响应时间≤ 1sec。
  • 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
  • 高端产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,严格按照SEMI标准生产制造。
  • CS100系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
  • 产品尺寸符合国际通用的SEMI标准,RS485,DeviceNet通讯方式。
  • CS100系列产品独创客户零点补偿功能,能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题,使产品更好的适应客户环境。
  • 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

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