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半导体装备 Semiconductor
iTops i233溅射系统iTops i233 Sputter System
  ITO透明导电薄膜被广泛用作LED芯片中的电流扩展层,实现芯片的均匀发光以及高出光效率。Sputter ITO相比于蒸镀ITO,具有高沉积速率、高致密度以及高折射率的优势,已成为业内的主流工艺。iTops i233 ITO溅射系统采用独特的RF+DC溅射工艺,能够制备出具有优异导电性能和高可见光透过性能的ITO薄膜,而且溅射过程中对底部GaN发光基底造成的损伤小,可以有效提高LED芯片的光电性能。iTops i233 ITO溅射设备结构简单,操作方便,运行稳定,工艺性能好,与国际竞争对手相比具有很高的性价比,市场份额持续增长。

应用领域:


半导体照明LED


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