首页>产品&服务>半导体装备 Semiconductor>原子层沉积设备ALD>Polaris A系列ALD 设备 Polaris A series ALD system
产品&服务 Products & services
半导体装备 Semiconductor
Polaris A系列ALD 设备 Polaris A series ALD system

  Polaris A系列ALD设备是设计适用于科学研究、企业研发和大规模自动化生产的灵活、可靠的原子层沉积ALD工艺平台。该设备非常适合从研发阶段的薄膜沉积扩大到大规模的工业化生产。

  区别于普通CVDPECVD原理,ALD可沉积超薄的、高深宽比的膜层。Polaris A系列ALD设备是用加热的方式,通过在工艺循环周期内分步向真空腔内添加前驱体、实现对膜层厚度的精确控制,可用于沉积Al2O3HfO2ZrO2TiO2TiNTaNALN等多种薄膜。

  Polaris A系列ALD设备通过独特的气路、腔体结构设计、配合相应的工艺配方,成功实现了不同薄膜的沉积厚度可控性;此设备可升级更多的前驱体源和气路、高真空泵、原位清洗和其他选项;特殊设计的进气结构,解决了传统腔室的颗粒问题,使之具有良好的洁净度,改善产品的电性能和良率;设备系统易于安装维护,大大提高了装机和PM的周期。

应用领域:


集成电路, 半导体照明,功率半导体,微机电系统,先进封装

相关资讯
相关产品
联系方式