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AE CG1000气路柜 AE CG1000 Gas storage cabinet

  AE CG1000气路柜可存放多种不同的工艺气体钢瓶,每种工艺气体可独立控制,集中统一管理。兼容多种规格的气体钢瓶,可为多台设备提供各种工艺气体。所有管路均经过严格的压力检测及氦质谱仪检漏;配有安全防爆玻璃窗、排风口、气体泄漏检测报警装置,气路柜主要用来存储工艺气体钢瓶及工艺气体气路的控制。气路柜可存放的多种不同的工艺气体钢瓶,每种工艺气体可独立控制,集中统一管理。气路柜广泛用于集成电路、半导体照明、功率器件、微机电系统以及光伏电池等领域

应用领域

PV, POWER ,MEMS,IC


产品优势

  • 所用管路均经过严格的压力检测及氦质谱仪检漏。
  • 具备气体泄露检测及自动保护功能。
  • 安全防爆设计。
  • EP级洁净管道,保证气体纯度。
  • 特气管路均具备氮气吹扫和负压排空功能。
  • 可兼容多种气体钢瓶。
  • 可根据客户需要特殊定制。






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