北方华创Al Pad PVD成功进驻上海集成电路研发中心

2018-03-13

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2018年3月13日，北方华创再传捷报，由北方华创下属子公司北方华创微电子自主开发的Al Pad PVD成功进驻上海集成电路研发中心。

北方华创微电子Al Pad PVD设备主要应用于90-28nm技术节点的Bond Pad和Al Interconnect工艺，设备突破了大产能传输平台、高温静电卡盘、先进磁控溅射源等一系列关键技术，解决了厚铝粘片、晶须缺陷等技术难题，设备综合性能达到国际先进水平，得到业内广泛认可。客户遍及Logic、DRAM、Nor flash、3D NAND、FPD等领域，并且已成为多家集成电路制造企业的Baseline设备。Al Pad PVD设备良好的用户口碑和客户端稳定量产的卓越表现，为其赢得了国内外众多厂商的肯定和好评。同时,该设备也凭借优越的机台表现和广泛的市场认可荣获了首届集成电路产业联盟创新奖。

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