2023年6月2日,北方华创12英寸立式炉500台出厂仪式在亦庄总部隆重举行。出厂500台,不仅标志着北方华创12英寸立式炉已然成为国内主流客户量产优先选择的设备,更是客户对NAURA 12英寸立式炉性能与品质广泛认可的充分证明。
如今,北方华创已形成包括氧化、退火、薄膜沉积等共23种系列化立式炉设备,基本实现立式炉工艺全覆盖。北方华创立式炉以高精度的温度控制能力,良好的成膜均匀性能力,以及先进的金属及颗粒污染控制技术,赢得市场高度肯定,广泛应用于逻辑、存储、功率、特色工艺、大硅片生产等半导体领域,是国内及东南亚12英寸主流生产线的量产主力设备。

