AE AT6000 全自动物料传输系统+MCS AE AT6000 Automatic Material Transportation System+MCS - 移载传送设备 Indexer - Semiconductor

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AE AT6000 全自动物料传输系统+MCS AE AT6000 Automatic Material Transportation System+MCS

AE AT6000全自动物料传输系统用于晶硅太阳能自动化生产线，负责各工艺单元之间片盒片篮的自动分配和传输。采用高空传输方式，具备MES接口，可兼容多种在线设备。整个系统可分为两段：前段负责在线制绒、扩散和湿法刻蚀工艺单元之间片篮的自动分配和传输，后段负责湿法刻蚀、PECVD和丝网印刷工艺单元之间片篮的自动分配和传输

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应用领域：

光伏

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