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北方微电子推出200mm高性能多功能磁控溅射系统并实现销售
发布时间:2016-11-26

近日,北方微电子发布了200mm新型高性能多功能磁控溅射系统Polaris G620,该设备基于北方微电子成熟的Cluster Tool平台构架,搭载全自动化装卸载系统,能更好地满足先进封装、微机电系统等多领域制程的发展需求。Polaris G620磁控溅射系统的推出,为全球200mm客户提供了更优质的选择,机台发布首月就成功实现销售。

近年来,物联网、汽车电子、移动设备、可穿戴设备等行业的迅速发展,为 200mm设备市场注入了新的成长动力,设备需求反转上升。Polaris G620的成功研制,顺应了200mm制程技术的发展,具备优异的机台性能,可满足不同溅 射工艺制备的需求:

1.高温PVD工艺:可满足400℃基片温度的溅射工艺需求。

2.薄片工艺:特殊的传输系统和工艺组件设计,可进行100μm厚度WaferTaiko wafer的传输和工艺。

3.填孔能力:可满足深宽比121孔隙填充。

4.灵活的腔室配置:各腔室完全独立工作,可根据工艺需求对各腔室进行配置优化,并辅助开发创新的软件调度算法,极大地提高了产能。

北京北方微电子公司是北京七星华创电子股份有限公司的全资子公司,此次,完全自主研发的Ploaris G620高性能多功能磁控溅射系统,可为200mm半导体各领域提供高性价比的设备及工艺解决方案。北方微电子将继续发扬精良品质卓越服务中国制造的企业精神,深耕发展,引领未来,与业界同仁携手合作,助推产业技术进步,带给产业无限可能。

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