NAURA-TOPCon设备解决方案助力光伏产业提效降本 - 企业新闻

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NAURA-TOPCon设备解决方案助力光伏产业提效降本

发布时间：2022-01-12

第十七届中国太阳级硅及光伏发电研讨会（17th CSPV）在苏州顺利召开。在NAURA-TOPCon 电池技术与应用分论坛上，北方华创王晓飞博士发表了题为《TOPCon量产技术路径思考及核心干法工艺装备之实践》的主题演讲。

王晓飞博士认为从现有电池技术发展趋势来看，N型高效电池市场份额未来将显著增加，TOPCon和HJT技术竞争优势将不断增强。电池技术迭代，亦离不开核心关键工艺装备技术提升，NAURA立足自主研发，多年来持续为TOPCon电池提效降本提供专业的设备解决方案。

TOPCon电池结构有多条工艺路线实现，从效率和量产应用两方面综合评估，LPCVD路线依然是产业化应用的成熟之选。

北方华创自2016年起，在业内率先布局LPCVD和硼扩核心干法工艺装备。五年来，北方华创敏锐捕捉行业发展趋势，积极借鉴产业化应用成功经验，实现了超长温区大管径温度场精准控制、大体积反应腔室稳定精准压力控制等技术突破，提升了超长温区膜层均匀性，并大幅降低设备运营维护成本。目前，北方华创LPCVD和硼扩设备持续在多个客户端实现量产应用，并斩获大批重复订单。

当下正值TOPCon扩产风口，北方华创针对LPCVD和硼扩装备产能不足、运营成本高昂的问题，顺势推出第三代设备解决方案。该方案面向210硅片的机型单管载片量分别达到2600片/管和2400片/管，单机产能分别提升86%和72%，单机年运营综合成本分别降低60%和30%，提升产能的同时均匀性指标提升1%，钝化性能等工艺指标亦有提升。

近年来，N型电池市场份额持续攀升，TOPCon和HJT制备设备方案持续迭代。北方华创紧跟市场，针对TOPCon的关键结构，隧穿氧化层的制备，除了成熟的LPCVD路线之外，还布局了三合一PECVD和PEALD，形成了覆盖多条技术路径的全面解决方案。

未来，北方华创将依托二十余年的半导体技术积累，持续精进光伏设备解决方案，始终以“推动产业进步，创造无限可能”为使命，在双碳政策战略背景下，为推动中国光伏产业持续健康发展创造无限可能！

注：CSPV是我国硅材料及光伏发电领域最重要的学术会议，CSPV以助力国内光伏企业提高核心竞争力，推动中国太阳能产业持续健康发展为宗旨，每年召集政府代表、产业领袖、业内精英，以全球市场发展趋势为导向，围绕晶硅材料制备技术等六大主题开展研讨，自2005年举办延续至今已成功召开了十七届，已在国际上具有一定声誉和影响力。

本届CSPV设2场主题论坛、17个专题会分会场，共发表技术报告259篇，线上观看累计达到6万多次。晶澳科技、隆基绿能、华为技术、德国TÜV莱茵等数十家业内知名企业代表参会。北方华创就TOPCon电池前沿技术及最新产业化应用进行分享。