首页>行业前沿>企业新闻>正文
行业前沿 News
企业新闻
聚焦第三代半导体,北方华创是值得您信赖的SiC产品解决方案服务商
发布时间:2022-09-09

  心合意同,谋无不成。近日,北方华创受邀参加“第四届第三代半导体材料及装备发展研讨会”,CVD事业单元化合物工艺技术经理刘广政博士出席会议,并做了以《碳化硅外延设备技术》为主题的分享报告。

(右三为刘广政博士)

  在新能源汽车、5G通讯、光伏储能等终端应用的发展推动下,以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等为代表的第三代半导体材料的热度节节攀升。北方华创在SiC装备领域布局广泛,各类装备均在国内主流生产线实现规模应用,可为客户提供全面的SiC产品解决方案。其中,SiC长晶炉累计订单数量超2000台,SiC外延炉累计订单数超100台。

  在外延装备方面,北方华创具有10余年外延设备研发的技术积累,在温场、气流场以及平台控制等设计方面优势显著,可针对多种半导体外延装备进行定制开发,涵盖硅与化合物半导体领域。


  其中MARS iCE115碳化硅外延设备采用水平热壁式技术路线,以及先进的控温控压算法、进气结构以及混流结构,使得整个外延工艺过程中热场和气流场均匀稳定,工艺指标如厚度均匀性、掺杂浓度均匀性、缺陷密度等均达到了行业先进水平。另外,机台设计遵循IC理念,提供了完备的安全保护机制,同时为客户提供更方便的人机交互界面以及多样的数据实时采集与监控功能。

  目前,北方华创的4/6吋SiC外延设备已签订单超百台,批量机台已在各大主流外延厂实现稳定量产。

  作为先进的“半导体基础产品领域解决方案服务商”,北方华创将持续深耕半导体基础产品领域,坚持技术引领,强化创新驱动,勇攀新高峰。
相关内容推荐