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NMC508M 8英寸铝金属刻蚀机 NMC508M 8 Inch Al Metal Etcher
  NMC508M 8英寸铝金属刻蚀机是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机,主要用于200mm硅片的金属铝和钨的刻蚀工艺。NMC508M为多腔室集群设备(Cluster Tool),是一个全自动的、能够进行串行或并行工艺处理的刻蚀系统。该系统主要由传输模块(Transfer Module)、金属刻蚀工艺模块(Metal Etch Process Module)、去胶模块(Strip Process Module)、冷却模块(Cooling station)、电源柜(Remote AC Power Rack)和控制柜(Control Rack)等组成,其中金属刻蚀工艺模块用于进行金属刻蚀工艺,去胶模块用于去除金属刻蚀后的残余光刻胶和残...
应用领域

  0.35-0.11µm集成电路

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