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半导体装备 Semiconductor
CS230 系列 数字式质量流量计/质量流量控制器 CS230 Series Digital Mass Flow Meter/ Mass Flow Controller
气体流量的测量控制在工业生产过程广泛地运用，质量流量控制器(MFC)除测量外还可以精密控制气体的质量流量。MFM/MFC具有不因温度和压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点随着微电子技术的发展，测量手段和补偿方法得到了很大的提高。随着传统能源的逐渐减少，可再生能源需求逐年增加，太阳能电池、燃料电池的研究和制造在全球如火如荼的发展，伴随科技的发展，半导体、液晶面板、ITO屏幕及新一代建筑幕墙玻璃的研究和制造在各地日新月异的进步。在以上制造工艺中，对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率，进而节约了能源和提高了生产力。北方华创致力于质量流量计的发展，为先进的制造工艺，包括半导体、光电和LOW-E玻璃的制造提供服务，并将继续开发新的产品来满足客户的需求。
应用领域
燃料电池、节能环保
产品优势
- 可满足客户宽范围流量计需求，适合从中流量（20slcm）到大流量（300slm）的量程需要。
- 准确度采用设定点精度，高端产品精度可达±1.0% S.P.，响应时间≤ 1sec。
- 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
- 高端产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，严格按照SEMI标准生产制造。
- CS230系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电；数字，模拟输入输出。
- CS230系列产品采用精确的管式分流技术和新型电磁阀控制技术，电磁阀控制电流可达300ma以上，满足大流量气体产品的控制，产品的量程可达300slm氮气。
- 产品有多种RS485，DeviceNet通讯方式。
- 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
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