半导体装备 Semiconductor
ACU 空气冷却单元
节能环保是我们国家和社会可持续发展内在的必要理念,更是绿色低碳转型、生态文明建设、自然和谐共存的重要构成要素。
目前大部分COLD TRAP采用冷却水方式冷却有机废气,消耗厂务冷却循环水量较大,对厂务的制冷设施有一定的考验,且冷却水制冷成本较高。
NAURA研发的空气冷却单元,可冷却工艺设备排放的60~130℃、 60~230℃区间的有机废气,并对低温热空气进行余热回收。可替换常规的水冷设备,减少制冷费用、厂务管道建设维护费用,运营成本下降的同时实现节能环保功效。并可与GTR热回收系统 (GTR Thermal Recycling Unit)组合使用。该系统可应用于平板显示、航天、光刻胶相关工艺设备。
应用领域:
平板显示、航天、光刻胶相关工艺设备。
平板显示、航天、光刻胶相关工艺设备。
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