服务项目

北方微电子可以为泛半导体领域的客户提供使用于4”~12”不同尺寸的备品备件,这些备品备件可以分别应用于刻蚀机(EYCH)、物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)等半导体设备。
北方微电子在各地服务中心分别建立了专门的备品备件存储仓库,其中各类易损易耗件及主要备件储存量达到95%以上。客服中心通过ERP管理系统,实现对产品零部件库存的跟踪管理,确保库存的准备率和及时供应,为客户的不间断生产提供保障。
北方微电子通过十余年在高端微电子装备领域的发展,积累了大量稳定的供应商合作群体,可以为客户提供高品质低成本的零备件产品供应。
北方微电子在各地服务中心分别建立了专门的备品备件存储仓库,其中各类易损易耗件及主要备件储存量达到95%以上。客服中心通过ERP管理系统,实现对产品零部件库存的跟踪管理,确保库存的准备率和及时供应,为客户的不间断生产提供保障。
北方微电子通过十余年在高端微电子装备领域的发展,积累了大量稳定的供应商合作群体,可以为客户提供高品质低成本的零备件产品供应。
为客户提供以下备件
消耗件
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石英件 石英盖 聚焦环 石英盖板 喷嘴等 陶瓷件 绝缘环 压环保护罩 基环 陶瓷针等
树脂件 树脂滑块 树脂支架 喷嘴支架等密封圈 不同规格的佛橡胶
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常用备件
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传感器 压力开关 真空规 MFC 光纤传感器等 电磁阀 应用于水路和气路控制不同规格的电磁阀 泵pump 各类干泵 分子泵冷泵 冷冻机chiller 不同品牌不同规格的冷冻机 机械手robot应用于大气/真空传输系统
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各类机加工件
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钣金件
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反应腔体
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内衬
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