WS-PE100/150 倒片机中包含1台6轴机械手组件,设备前端设有6个Loadport工位,每3个对应1个腔室。设有2个Buffer工位,每个Buffer上可以放19片Wafer对应1个腔室中的4寸Wafer,2个冷却工位分别对应左右2个腔室。