NMC 612G 12英寸金属刻蚀机
NMC 612G 12 Inch Metal Etcher
- 设备特点
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- 可用于铝、硅,氧化物、钼、氧化铟锡等多种材料刻蚀
- 高性能静电卡盘,可用于硅晶圆及玻璃片稳定吸附
- 设备提供多种均匀性调节手段
- 定制化软件配置
- 产品应用
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- 晶圆尺寸12英寸
- 适用材料铝、硅、氧化物、钼、氧化铟锡
- 适用工艺多晶硅刻蚀、介质刻蚀、Al/Mo/ITO等金属刻蚀
- 适用领域集成电路、功率半导体、硅基微型显示