THEORIS X302P 12英寸立式中温氧化炉
THEORIS X302P 12 Inch Vertical Mid-Temp Oxidation Furnace
- 设备特点
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- 先进颗粒控制技术
- 高精度温度场控制技术
- 先进的微环境氧含量控制技术
- 高产能
- 产品应用
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- 晶圆尺寸12英寸
- 适用材料硅
- 适用工艺干氧氧化、湿氧氧化、DCE氧化、掺氮氧化、退火
- 适用领域集成电路、功率半导体、衬底材料