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TENESIS X308P
12英寸立式大产能中温氧化炉
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业务联系人:周文飞
TENESIS X308P 12英寸立式大产能中温氧化炉
TENESIS X308P 12 Inch Vertical Large Batch Mid-Temp Oxidation Furnace
TENESIS X308P为立式单腔大产能炉管系统,工艺处理过程实现了高度自动化,该系统主要由传输模块、工艺模块、电源柜等部分组成。
设备特点
高精度温度场控制技术
高稳定性工艺表现
高智能化自我侦测系统
大产能
产品应用
晶圆尺寸
12英寸
适用材料
硅
适用工艺
干氧氧化、湿氧氧化、DCE氧化
适用领域
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